近年来，微纳制造的发展使得微孔加工技术受到越来越多的关注。微孔加工是一种重要的微纳制造技术，可以制造出规模在1微米以下的制品。它可以为微机电系统等器件的发展带来方便。

微孔加工是一种非常精细的加工技术，可用于加工金属、塑料等材料。一般情况下，它可以制作出具有多种形状的微孔，其直径在1微米以下，深度达到几十微米或更大。常见的加工方式有电子束（E-beam）加工、雷射（Laser）加工、腐蚀加工（Etching）、加工铣削（Machining）等。

微孔加工技术可以提供微小孔洞和长通道，从而使微机电系统元件内部的空间结构更加复杂。它可以设计出微小的二分器、过滤器、封装器等，并用于制造空间精细的仪器。此外，微孔加工技术可以应用到生物传感器、冶金表面处理、工业材料改性和手术器械的制作等诸多领域。

由于微孔加工技术可以提供多种加工方案，因此它的成本效益非常高。但是，由于微孔规模尺寸非常小，加工集中和精度控制也更加关键，因此需要很高的技术水平和相对应的设备。

未来，微孔加工技术会更加广泛地应用于微纳制造领域，可以减少零部件尺寸，提高工作效率，提升性能，以满足微纳制造行业的发展需要。