微孔加工是最近伴随着微电子技术的发展而出现的一种创新工艺技术，它能够制造出形状精密、尺寸细小、表面质量优良的微孔结构，是一种超微加工技术。

这项新技术可以处理几乎所有市面上的金属制品，特别是那些做不到精确加工孔尺寸的材料，例如碳化物，硅酸钙，硅酸锰等。能够满足微观加工对加工准确性及精度要求的金属材料的微孔加工开始有了越来越多的应用介入到微电子行业中。

微孔加工技术可以有效的提高加工精度，使得表面覆盖更加均匀，气泡极少，可以比较大的提高加工效率。其主要的方法有电子束加工、激光加工、超声波加工和化学加工等，它们各自有各自的特点，只要正确选择适当的工艺，可以对大部分的金属表面产生微米级的孔洞。

微孔加工技术的开发和应用有着深远的影响，它可以极大的提高表面质量，延伸产品的使用寿命和有效的提升加工的速度和效率，在微电子制造技术中也有着重要的作用。