微孔加工技术是MEMS开发的最重要的组成部分之一，从制造电子微小传感器、微纳米结构到制造生物医学芯片等，微孔加工技术称为制造微细件的基础。在工业生产中，微孔加工技术逐步发展成为实现机械自动化制造的重要技术，可大大提高生产效率、减少人工成本。

微孔加工技术要求极其高的精度，颗粒度精确到仅有几纳米的范围，因此非常耗费时间。但是，随着加工技术的发展，微孔加工的加工速度也在不断提高。例如，激光微孔加工技术可在短暂时间内实现高精度加工。

微孔加工技术必须与配套的高性能测量技术和先进的集成化技术关联起来，以便有效地确保微细件的精度。必要时，还可以使用事先模拟，预测微细件的表面形状和精度，以便及时纠正加工工艺问题。

微孔加工技术不仅已然成为实现机械自动化制造的重要技术，而且还普遍应用到医疗器械、汽车行业及航空航天行业等，微细件在优化了各个行业的制造流程并提高了制造质量的同时，也让深度定制、工艺数据化及许多注重细节的制造更加简单。

在微孔加工技术领域，精度和准确度至关重要，使用化学刻蚀处理、激光加工和磨削等技术的精度是现有最佳技术。此外，普及率最高的方法是激光微孔加工，它具有快速、低损耗、精密、重复可靠等特点，非常适合用于精密设备和高精度工件的加工。

总之，微孔加工技术作为实现机械自动化制造的重要技术，给行业带来了很大的便利，以后似乎可以期待更多的革新性产品和更多的前沿技术投入到微孔加工技术中，更多应用更多的新机遇。