微孔加工技术是一种精密加工技术，它能够生产小到亚微米尺寸的微孔，可用于制造微纳米电子陶瓷、微通道、微电机、微喷嘴、微飞行器和微机电系统等产品。

微孔加工技术可以利用以下几种途径实现微孔的加工：腐蚀、化学蚀刻、电子束刻蚀、激光刻蚀、微波放电刻蚀、液体蒸发镀膜等。最早的微孔加工技术是化学蚀刻，这是一种机械的物理蚀刻方法，其加工的精度较低，而且容易受因物质的厚度不均匀而受到影响，最终的微孔度受到影响。

今天，微孔加工技术已经有了很大的进步，主要是从化学腐蚀、电子束刻蚀和激光刻蚀等方面取得了很大的进步，它们的精度高、灵敏度强，而且处理方式灵活，确保加工所需的精度。

微孔加工技术在电子元件制造、信息技术、芯片制造等行业中有着广泛的应用，是现代高精密加工中绝对不可缺少的重要技术。