微孔加工是一种新兴的微雕刻技术，它主要利用光束或其它形式的能量源将目标材料中的微细细微部分切割和烧烤，以实现形状准确、精度高的处理效果。它具有夹具灵活和工件复杂形状易处理、电能转换效率高等特点，主要应用于硅硅基集成电路、微机系统组件的加工、THIN FILM等，在微纳元件、微加工和半导体制造等领域有很大的应用前景。

微孔加工的基本原理是利用能量激发材料表面的一定温度，导致部分体积的材料凝固而形成的。微孔加工的局限性主要在于加工精度，常见的加工物料有金属、玻璃、塑料等，当然，也有一些其他材料可以使用微孔加工。由于微孔加工技术可以实现极其精密的加工，使用相应的设备可以实现毫米量级以下的密度，产品的精细度因此备受赞誉。

随着微流体技术、廉价微机电技术的广泛应用，微孔加工技术有望成为一种新兴技术，在材料加工领域有很大的发展价值，特别是在微小型零件加工中表现出卓越的性能。目前的微孔加工具有曝光机、电磁泵、电泵、液压泵、螺旋泵、气动泵等，可以解决很多微加工的要求，如微外形加工、电路板加工等。

从总体来看，微孔加工技术经过多年的发展，应用越来越多，可以有效地满足用户需求，提高技术含量，逐渐成为当今技术发展的一个方向。